名称

Product Name

化学式

Formula

纯度（%）

Purity

杂质（ppm)

Impurities

氦气

He

99.995

TCH4≤1 CO2≤1 Ne≤10 H2≤3 CO≤1 H2O≤10

99.999

O2≤1 TCH4≤1 CO2≤0.5 Ne≤4 H2≤1 CO≤0.5 H2O≤1

99.9995

O2≤0.5 TCH4≤0.1 CO2≤0.2 Ne≤1 H2≤0.1 CO≤0.1 H2O≤1

氩

Ar

99.999

O2≤2 TCH4≤2 N2≤5 H2≤1 H2O≤4

99.9999

O2＜0.2 N2＜0.5 CO≤0.1 CO2≤0.1 THC＜0.1 H2O＜0.2

氢

H2

99.99

O2≤5 TCH4≤10 CO2≤5 N2≤60 CO≤5 H2O≤5

99.999

O2≤1 TCH4≤1 CO2≤1 N2≤5 CO≤3 H2O≤1

99.9999

O2＜0.1 TCH≤0.1 CO2≤0.1 N2≤0.5 CO≤0.1 H2O≤0.5

氮

N2

99.999

O2≤1 H2≤1 H2O≤2 TCH≤3

99.9999

O2＜0.2 N2＜0.1 CO≤0.1 CO2≤0.1 THC≤0.1 H2O≤0.2

氧

O2

99.95

Ar≤20 CO2≤1 N2≤20 TCH≤2

99.999

Ar＜5.0 CO2＜0.5 CO＜1 N2＜2 THC＜0.2 H2O＜2

二氧化碳

CO2

99.995

O2≤10 N2≤20 CO≤1 H2O≤5 TCH≤10

99.999

O2≤1 N2≤5 CO≤1 H2O≤2 TCH≤1

一氧化碳

CO

99.95

N2＜350 O2＜50 H2O＜5

99.999

O2≤2 H2≤1 N2≤2 THC≤2 H2O≤1 Ar<2.0

一氧化氮

NO

99.5

N2＜300 CO2＜500 N2O＜4000 NO2＜2000

二氧化氮

NO2

99.9

二氧化硫

SO2

99.9

O2+ N2＜100 H2O＜10 其它＜200

氧化亚氮

N2O

99.99

99.999

O2≤2 N2≤2 THC≤0.5 H2O≤2 N2O＜1 Ar＜1 CO≤1 NO2≤1

硫化氢

H2S

99.9

O2+ N2＜100 H2O＜3 H2＜200

99.99

氨

NH3

99.999

O2＜1.0 H2O＜2.0 N2＜2.0 CO＜1.0

六氟化硫

SF6

99.99

O2≤10 N2≤40 HF≤0.1 H2O≤5 CF4≤25

99.999

O2＜2 N2＜5 CF4＜2 H2O≤5 氟化物＜0.1

合成空气

Air

O2:19.5-22.5

H2O≤5 CO/CO2≤0.5 THC≤5

零点空气

O2:19.5-22.5

H2O≤5 CO/CO2≤0.5 THC≤0.1