组 分 气 体

稀 释 气 体

  硅烷或氯硅烷或二氯二氢硅或乙硅烷

氦、氩、氢、氮

参杂气体

蚀刻气体

硼化合物：
磷化合物：
砷化合物：

乙硼烷 三氯化硼、溴化硼+氦+氩+氢
磷烷、氯化磷、溴化磷+氦+氩+氢
砷烷、三氯化砷+氦+氩+氢

铂：三氟三氯乙烷+氧.四氟化碳+氧
聚硅：四氟化碳+氧. 乙烷+氯
铝：氯硅烷+四氯化碳+（氩.氮）
铬：四氯化碳+氧.四氯化碳+空气
钼：二氟二氯化碳+氧.四氟化碳+氧
钨或硅：四氟化碳+氧