品种名称

英文名

化学式

纯度（%）

充装容器（L）

充装量（Kg）

氨气

Ammonia

NH3

99.999

44、16、8

22.7、6.8、4.1

99.9997

砷烷

Arsine

AsH3

99.999

50、25、10、5

22.7、11.3、4.5、2.3

99.9999

三氯化硼

Boron trichloride

BCl3

99.99

44、16

36.3、10

99.999

三氟化硼

Boron trifluoride

BF3

99.99

44、16、8

27.2、9.1、4.5

99.999

二氯二氢硅

Dichlorosilane

SiH2Cl2

99.9

44、16

40.9、10

三氟甲烷

Halocarbon-23

CHF3

99.995

44、16

31.8、5.0

99.999

氯化氢

Hydrogen chloride

HCl

99.995

49、44、16

31.7、27.2、9.1

99.9995

氧化亚氮

Nitrous oxide

N2O

99.9998

44、16、8

27.2、9.0、4.5

三氟化氮

Nitrogen trifluoride

NF3

99.995

44、17

20、7.7

氯硅烷

Silicon tetrachloride

SiCl4

99.94

210MC、38

272、45.4

硅烷

Silane

SiH4

99.999

49、44

14、10

99.9995

磷烷

Phosphine

PH3

99.999

44、16、8、3

13.6、4.1、2.3、0.7