产品展示
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品种名称 |
英文名 |
化学式 |
纯度（%） |
充装容器（L） |
充装量（Kg） |
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氨气 |
Ammonia |
NH3 |
99.999 |
44、16、8 |
22.7、6.8、4.1 |
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99.9997 |
|||||
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砷烷 |
Arsine |
AsH3 |
99.999 |
50、25、10、5 |
22.7、11.3、4.5、2.3 |
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99.9999 |
|||||
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三氯化硼 |
Boron trichloride |
BCl3 |
99.99 |
44、16 |
36.3、10 |
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99.999 |
|||||
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三氟化硼 |
Boron trifluoride |
BF3 |
99.99 |
44、16、8 |
27.2、9.1、4.5 |
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99.999 |
|||||
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二氯二氢硅 |
Dichlorosilane |
SiH2Cl2 |
99.9 |
44、16 |
40.9、10 |
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三氟甲烷 |
Halocarbon-23 |
CHF3 |
99.995 |
44、16 |
31.8、5.0 |
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99.999 |
|||||
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氯化氢 |
Hydrogen chloride |
HCl |
99.995 |
49、44、16 |
31.7、27.2、9.1 |
|
99.9995 |
|||||
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氧化亚氮 |
Nitrous oxide |
N2O |
99.9998 |
44、16、8 |
27.2、9.0、4.5 |
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三氟化氮 |
Nitrogen trifluoride |
NF3 |
99.995 |
44、17 |
20、7.7 |
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氯硅烷 |
Silicon tetrachloride |
SiCl4 |
99.94 |
210MC、38 |
272、45.4 |
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硅烷 |
Silane |
SiH4 |
99.999 |
49、44 |
14、10 |
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99.9995 |
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磷烷 |
Phosphine |
PH3 |
99.999 |
44、16、8、3 |
13.6、4.1、2.3、0.7 |
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组 分 气 体 |
稀 释 气 体 |
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硅烷或氯硅烷或二氯二氢硅或乙硅烷 |
氦、氩、氢、氮 |
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参杂气体 |
蚀刻气体 |
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硼化合物： |
乙硼烷 三氯化硼、溴化硼+氦+氩+氢 |
铂：三氟三氯乙烷+氧.四氟化碳+氧 |
