标准(混合)气
名称/化学式 高纯电子气
包装规格 8L、40L、47L等
基本信息

品种名称
Product Name
英文名
English Name 
化学式
Formula
纯度(%)
Purity
充装容器(L)
Refillable Containers
充装量(Kg)
Filling Volume
氨气 Ammonia NH3 99.9995 950、440、47、44 480、230、25、23
99.9999
99.99994
99.99999
砷烷 Arsine ASH3 99.999 50 、25 、10 、5 22.7、11.3、4.5、2.3
99.9999
三氯化硼 Boron trichloride BCL3 99.99 44 、16、 8 50、10、5
99.999
三氟化硼 Boron trifluoride BF3 99.99 44 、16、8 27.2、9.1、4.5
99.999
二氯二氢硅 Dichlorosilane SiH2Cl2 99.9 44、16 40.9、10
三氟甲烷 Halocarbon-23 CHF3 99.995 44、16 31.8、5.0
99.999
氯化氢 Hydrogen trifluoride HCl 99.999 49、44 、16 31.7、27.2、9.1
99.9995
氧化亚氮 Nitrous chloride N2O 99.9995 47、16、8 27.2、9.0、4.5
三氟化氮 Nitrogen trifluoride NF3 99.99 44、17 20、7.7
氯硅烷 Silicon tetrachloride SiCl4 99.95 210MC、38 272、45.4
硅烷 Silane SiH4 99.9999 470、47 125、12
磷烷 Phosphine PH3 99.998 44 、16、 8、3 13.6、4.1、2.3、0.7
六氟化硫 Sulphur hexafluoride SF6 99.999 40 50
四氟化碳 Four carbon fluoride CF4 99.999 47 30
一氧化氮 Nitrogen monoxide NO 99.9 40 3.5(Mpa)
氯气 Chlorine Cl2 99.999 50 60
硼烷 Borane  B5H9 99.99 47